無(wú)塵凈化車間的主要作用是控制商品(如硅片)接觸的大氣的清潔度和溫濕度，使商品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，我們稱之為無(wú)塵凈化車間。根據(jù)世界慣例，無(wú)塵凈化水平主要基于每立方米空氣中直徑大于區(qū)別標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量。
換句話說(shuō)，所謂的無(wú)塵不是100%沒(méi)有灰塵，而是被控制在一個(gè)非常小的單元中。
當(dāng)然，與我們經(jīng)常看到的灰塵相比，本規(guī)范中符合灰塵規(guī)范的顆粒已經(jīng)非常小了。然而，就光學(xué)結(jié)構(gòu)而言，即使是一點(diǎn)點(diǎn)灰塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。因此，在光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)中，山東無(wú)塵凈化車間是必然的要求。
無(wú)塵凈化車間的設(shè)備相當(dāng)昂貴。除了各種消防器材外，還需要滿足以下要求:
設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)時(shí)，宜采用預(yù)作用自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。當(dāng)設(shè)置氣體滅火系統(tǒng)時(shí)，不應(yīng)該使用哈龍1211和可能導(dǎo)致窒息和受保護(hù)物體二次損壞的滅火劑。無(wú)塵凈化車間給排水管道的敷設(shè)方式直接影響潔凈室的空氣潔凈度。因此，《規(guī)范》要求管道盡可能鋪設(shè)在潔凈室之外，以最大限度地減少凈化項(xiàng)目中的管道數(shù)量。
目前，無(wú)塵凈化車間管道布置包括:
各種主管布置在技術(shù)夾層、技術(shù)通道和技術(shù)豎井內(nèi)。對(duì)于上下夾層的無(wú)塵凈化車間，給排水主管大多設(shè)置在下夾層；隱蔽立管可設(shè)置在墻板、異型磚、管溝或技術(shù)通道中；支管通過(guò)主管或垂直管引入潔凈室。
從上下夾層引入潔凈室20~30cm，然后與設(shè)備的二次管道連接。安裝在技術(shù)通道中的管道和閥門可以安裝在露天或黑暗中。
無(wú)塵凈化車間均是一個(gè)恒溫恒濕的房間，生產(chǎn)過(guò)程所需的各種管道有不同的水溫要求。管道內(nèi)外的溫差可能導(dǎo)致管道外壁冷凝，影響室內(nèi)溫度和濕度。因此，可能結(jié)露的管道應(yīng)采取防凝露措施。
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