潔凈室工程

      一、概念

      潔凈室工程對(duì)控制硅芯片等產(chǎn)品接觸的大氣清潔度、溫度和濕度至關(guān)重要，使產(chǎn)品能夠在稱為潔凈室的良好環(huán)境空間中生產(chǎn)和制造。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化水平主要是根據(jù)每立方米空氣中顆粒直徑大于分割標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)來(lái)確定的。100%的無(wú)塵意味著完全沒(méi)有灰塵，而是以非常微量的單位控制。當(dāng)然，在這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中，符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的粒子比我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)很細(xì)微，但光學(xué)結(jié)構(gòu)中的一些灰塵也會(huì)產(chǎn)生非常負(fù)面的影響，因此光學(xué)制作產(chǎn)品生產(chǎn)中沒(méi)有灰塵是必不可少的要求。

      每立方米小于0 . 3微米粒子大小的灰塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，達(dá)到國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)a級(jí)。目前適用于芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)灰塵的要求高于a級(jí)，這些高標(biāo)準(zhǔn)主要適用于某些更高的芯片生產(chǎn)。微塵的數(shù)量嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)。這在業(yè)界一般被稱為1k水平。

      二、潔凈室工程的用途主要有以下三種:

      空氣凈化室:已經(jīng)建好并可以運(yùn)行的凈化室(設(shè)施)。具備所有相關(guān)的服務(wù)和功能。但是設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作員操作的設(shè)備。

      靜態(tài)潔凈室:功能齊全，安裝正確，可根據(jù)設(shè)置使用或使用的潔凈室(設(shè)施)，但設(shè)施中沒(méi)有操作員。

      動(dòng)態(tài)清潔室:位于正常使用的清潔室中，可提供完整的維修功能、設(shè)備和人員，以及在需要時(shí)執(zhí)行正常工作。